コーティング技術について

コーティングの種類

  • 電子ビーム蒸着
    Electron beam Deposition電子ビーム蒸着 Most Common Cheap
    Least Dense Energy Low Performance
  • イオンアシスト蒸着
    Ion-Assisted Depositionイオンアシスト蒸着 Common Medium Cost
    More Dense Energy Medium Performance
  • イオンビームスパッタ
    Ion Beam Sputtering (IBS) イオンビームスパッタ Rare
    Medium-High Cost Most Dense Energy Highest Performance

コーティング面の品質／面の粗さ

イオンアシスト蒸着

イオンビームスパッタ（IBS)
イオンアシスト蒸着 イオンビームスパッタ（IBS)

コーティング性能比較

Relative Packing Density (TiO2) Refractive index (TiO2)
Scatter & Absorption Loss (ppm) Spectral Shift (nm)

イオンビームスパッタリング（IBS）の利点

IBS Regular type

  • 高い分子エネルギーが硬いコーティングを生む
    Higher Molecular Energy Yields Harder Coatings
  • 高い損傷 しきい値
    Higher Damage Threshold
  • 高い耐久力
    Higher Durability
  • 接着剤なし　⇒　くさび形が小さい
    No Adhesives ⇒　Min, Wedge
  • 清掃と取扱が容易
    Easy to clean & handle
  • ロット毎の差が無い
    Repeatable4Lot-to-Lot
  • シングル基板対マルチ基板
    Single vs Multiple Substrate

コーティング環境試験

テスト項目 ： サンプル数　11 結果
温度サイクル ： -20℃to +71℃ 温度サイクル後目視変化無し
湿度 ： 48℃ で 95%RH 以上 湿度試験後目視変化無し
温度・湿度試験後
タップ試験 ：　		 薄片に裂けなし＆目視変化無し
温度・湿度試験後
アルコール摩擦試験 ： クリーンルーム用綿棒にて５分間		 8サンプルは目視変化なし、
2F、3F、10Fに局所的なコーティング除去エリアあり
温度・湿度試験後
ゲル摩擦試験 ： クリーンルーム用綿棒にて５分間		 3個の悪いサンプル
ビフォア／アフターの目視変化無し
温度・湿度試験後
スペクトロ機能試験 ： 532 nm／1064 nm　		 　　　　　532nm　　　　　1064nm
Pre Env　　　92.00　　　　　92.20
Average　　　91.35　　　　　92.18
Std　　　　　　1.15　　　　　　 0.36

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