コーティング技術について

コーティングの種類

  • 電子ビーム蒸着
    Electron beam Deposition電子ビーム蒸着 Most Common Cheap
    Least Dense Energy Low Performance
  • イオンアシスト蒸着
    Ion-Assisted Depositionイオンアシスト蒸着 Common Medium Cost
    More Dense Energy Medium Performance
  • イオンビームスパッタ
    Ion Beam Sputtering (IBS) イオンビームスパッタ Rare
    Medium-High Cost Most Dense Energy Highest Performance

コーティング面の品質/面の粗さ

イオンアシスト蒸着

イオンビームスパッタ(IBS)

イオンアシスト蒸着 イオンビームスパッタ(IBS)

コーティング性能比較

Relative Packing Density (TiO2) Refractive index (TiO2)
Scatter & Absorption Loss (ppm) Spectral Shift (nm)

イオンビームスパッタリング(IBS)の利点

IBS Regular type

  • 高い分子エネルギーが硬いコーティングを生む
    Higher Molecular Energy Yields Harder Coatings
  • 高い損傷 しきい値
    Higher Damage Threshold
  • 高い耐久力
    Higher Durability
  • 接着剤なし ⇒ くさび形が小さい
    No Adhesives ⇒ Min, Wedge
  • 清掃と取扱が容易
    Easy to clean & handle
  • ロット毎の差が無い
    Repeatable4Lot-to-Lot
  • シングル基板対マルチ基板
    Single vs Multiple Substrate

コーティング環境試験

テスト項目 : サンプル数 11 結果
温度サイクル : -20℃to +71℃ 温度サイクル後目視変化無し
湿度 : 48℃ で 95%RH 以上 湿度試験後目視変化無し
温度・湿度試験後
タップ試験 : 
薄片に裂けなし&目視変化無し
温度・湿度試験後
アルコール摩擦試験 : クリーンルーム用綿棒にて5分間
8サンプルは目視変化なし、
2F、3F、10Fに局所的なコーティング除去エリアあり
温度・湿度試験後
ゲル摩擦試験 : クリーンルーム用綿棒にて5分間
3個の悪いサンプル
ビフォア/アフターの目視変化無し
温度・湿度試験後
スペクトロ機能試験 : 532 nm/1064 nm 
     532nm     1064nm
Pre Env   92.00     92.20
Average   91.35     92.18
Std      1.15       0.36

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