真空(10-6Pa)対応低プロファイル移動ステージ
移動量:10mm
- 1軸のステージは商品コード:7020134 、2軸のステージは商品コード:7020136です。
- 1軸のステージ高さは10.5mm、2軸の場合のステージ高さは20mmです。
- 低いステージ高さに合わせて、直径13mmの小さなノブがついた薄いマイクロメータが使われています。
- 3軸システム構築は2軸のステージと1軸のステージを角度ブラケットで組み合わせます。
- このシステムは構成は非常に軽くて薄く見えますが、非常に高い信頼性と精度があります。
| 商品コード | ステージ構成 | 価格(税抜き) | 納期 |
| 7020134 | 1軸 | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
| 7020135 | 2軸 | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
仕様
| 移動量 | 10 mm |
| 感度 | 1 µm |
| 移動精度 | 2 µm |
| 読取精度 | 5 µm |
| 移動分解能 | 2 µm |
| 耐荷重 水平方向 垂直方向 |
6 Kg 3 Kg |
3軸システム構築図
外形寸法図

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