真空(10-6Pa)対応低プロファイル移動ステージ

移動量:10mm

真空対応低プロファイル移動ステージ
  • 1軸のステージは商品コード:7020134 、2軸のステージは商品コード:7020136です。
  • 1軸のステージ高さは10.5mm、2軸の場合のステージ高さは20mmです。
  • 低いステージ高さに合わせて、直径13mmの小さなノブがついた薄いマイクロメータが使われています。
  • 3軸システム構築は2軸のステージと1軸のステージを角度ブラケットで組み合わせます。
  • このシステムは構成は非常に軽くて薄く見えますが、非常に高い信頼性と精度があります。
商品コード ステージ構成 価格(税抜き) 納期
7020134 1軸 お問合せ下さい お問合せ下さい
7020135 2軸 お問合せ下さい お問合せ下さい

仕様

移動量 10 mm
感度 1 µm
移動精度 2 µm
読取精度 5 µm
移動分解能 2 µm
耐荷重
  水平方向
  垂直方向

6 Kg
3 Kg

3軸システム構築図

3軸システム構築図

外形寸法図

外形寸法図

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