真空(10-6Pa)対応電動ステージ

移動量:50mm、100mm、150mm、200mm

真空(10-6Pa)対応電動ステージ
  • 細くコンパクトな形状
  • 0.31 µm(1/8 step)の分解能
  • 高精度なガイドウェイ
  • 0.5mmピッチのリードスクリュー
  • X-Y-Zへの構築可能
商品コード 移動量 価格(税抜き) 納期
7020101 50mm お問合せ下さい  お問合せ下さい 
7020102 100mm お問合せ下さい  お問合せ下さい 
7020103 150mm お問合せ下さい  お問合せ下さい 
7020104 200mm お問合せ下さい  お問合せ下さい 
  • 真空対応のステップモーターで駆動します。
  • X-Y構成のステージはM6 ネジにより直接組み立てができます。
  • X-Y-Z構成にはアングルブラケット商品コード:7020018が便利です。
  • ステージを取り付けるのにベースプレート商品コード:7020020が必要です。

仕様

商品コード  7020101 7020102 7020103 7020104
軸スクリューピッチ 0.5 mm
全ステップでの分解能 2.5µm
最大速度 5 mm/s
耐荷重
  水平方向
  垂直方向

8 Kg
3 Kg
モーター用コネクター  DB9(M)
ステッピングモーター 商品コード:7020005
自重 1.0 Kg 1.5 Kg 1.5 Kg 1.6 Kg
アセンブリ
  X-Y
  Z軸ブラケット
  ベースプレート

直接接続
商品コード:7020017
商品コード:7020018
推奨コントローラ  商品コード:7020001(USBタイプ)
商品コード:7020002(RS-232Cタイプ)
スナップアクションリミットスイッチ
  スイッチタイプ
two end switches
Pushed is "closed"
Z軸プラケット
商品コード:7020017
Z軸プラケット 商品コード:7020017
Z軸組み立て
 
Z軸組み立て
ベースプレート
商品コード:7020018
ベースプレート 商品コード:7020018

外形寸法図

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商品コード:7020101
商品コード:7020101
商品コード:7020102
商品コード:7020102
商品コード:7020103
商品コード:7020103
商品コード:7020104
商品コード:7020104

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