真空（10-6Pa）対応電動小型ステージ（DCタイプ）
移動量：10mm、20mm、25mm、30mm
本電動ステージは真空対応のDCモーターで構成され、全ての機構部品は高真空対応グリースを採用します。DCモーターはスムーズな動きと閉ループ制御を提供します。
モーターの高い減速ギヤ数は高い分解能が得られますが低速駆動です。高い正確さが要求されるアプリケーションに適していますが、速度の制限には敏感ではありません。アルミ部品はアルマイト処理をしておりません。ステージは真空チャンバー内で清掃され、発送前にパッケージされます。そこで購入後真空を損なうこと無しに速やかにチャンバー内に設置することができます。
| 商品コード | 移動量 | 価格（税抜き） | 納期 |
| 7020115 | 10mm | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
| 7020116 | 20mm | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
| 7020117 | 25mm | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
| 7020118 | 30mm | お問合せ下さい | お問合せ下さい |
仕様
| 商品コード | 7020115 | 7020116 | 7020117 | 7020118 |
| 移動量 | 10 mm | 20 mm | 25 mm | 30 mm |
| 軸スクリューピッチ | 0.25µm | |||
| 分解能 | 0.1 µm | |||
| 最大増分量 | 0.028 µm | |||
| 双方向繰返し精度 | 0.4 µm | |||
| 最大速度 | 0.16 mm/s | |||
| 耐荷重 水平方向 垂直方向 |
5 Kg 1 Kg |
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| フッ素樹脂ケーブル | integrated, 2m length | |||
| モーター用コネクター | HDB15(M) | |||
| DCモーター | 商品コード：7020005 | |||
| 自重 | 0.43 Kg | 0.46 Kg | 0.47 Kg | 0485 Kg |
| アセンブリ X-Yブラケット Z軸ブラケｯト |
商品コード：7020014 商品コード：7020015 |
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| 推奨コントローラー | 商品コード：7020005（USBタイプ） | |||
XY軸プラケット
商品コード：7020014
商品コード：7020014
Z軸ブラケット
商品コード：7020015
商品コード：7020015
外形寸法図
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