真空(10-6Pa)対応電動リニアステージ

移動量:50mm、取付け位置に関係なく動作、垂直耐荷重:1Kg

真空対応電動リニアステージ

本リニアステージは旧タイプを改善し新しく開発されたステージです。

本ステージは逆さまでの取りつけや垂直方向でモーター位置が上下でも無関係に如何なる方向でも動作できます。ステージの耐久力は垂直1kgの耐荷重まで増加されました。 バックラッシュを除去するためスプリングが取り付けられております。垂直(Z軸)の取付には角度ブラケット(商品コード:7020017)を提供します。2個のメカニカルスイッチが移動距離の終端に緊急停止用として設置されています。

 本ステージの本体とプラットホームはアルミ製で、機能部品は鉄製です。本電動ステージは真空(10-6Pa)対応のステッピングモーターで構成され、全ての機構部品は高真空対応グリースを採用します。アルミ部品はアルマイト処理をしておりません。ステージは真空チャンバー内で清掃され、発送前にパッケージされます。そこで購入後真空を損なうこと無しに速やかにチャンバー内に設置することができます。

商品コード 移動量 価格(税抜き) 納期
7020120 50mm お問合せ下さい  お問合せ下さい 

仕様

商品コード  7020120
移動量 50 mm
軸スクリューピッチ 0.25µm
分解能 1.25 µm
最大速度 2.5 mm/s
耐荷重
  水平方向
  垂直方向

3 Kg
1 Kg
フッ素樹脂ケーブル integrated, 2m length
モーター用コネクター  HDB15(M)
ステッピングモーター 商品コード:7020005
自重 0.55 Kg
アセンブリ
  X-Yブラケット
  Z軸ブラケット

商品コード:7020014
商品コード:7020016
推奨コントローラー 商品コード:7020001(USBタイプ)
 商品コード:7020002(RS232Cタイプ)
  商品コード:7020003(マニュアルタイプ)
XY軸プラケット
商品コード:7020014
XY軸プラケット 商品コード:7020014
Z軸ブラケット
商品コード:7020016
Z軸ブラケット 商品コード:7020016

外形寸法図

外形寸法図

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