レゾナント・スキャナー & ステップスキャナー
- スキャン角度を任意に設定可能な、電磁誘導による軸線のねじり振動を基本とする電気機械共振型のレゾナント・スキャナーです。
- ベアリング等の磨耗箇所が無いので、半永久的な寿命となります。
- ミラー面積とスキャナー外形面積との比は、一般的なシリコン系MEMSの1/4と省スペースです。
- PWM制御とフィードバック制御で高精度と高安定性を実現しております。
- 駆動回路は約0.25Wの低消費電力ですので、電池での駆動も可能です。
- 任意の位置でスキャンを停止させる１次元、２次元のステップ・スキャナーもあります。
- デモ機がありますので、ご連絡下さい。
商品ラインナップ
- 超小型レゾナント・スキャナー (φ3mmミラー）
- 小型レゾナント・スキャナーモジュール (φ6mmミラー）
- 中型レゾナント・スキャナーモジュール（φ10mm）
- ２次元ステップスキャン ＆ スローラスターユニット
- 小型サークル・スキャナーモジュール LSMC-200L
超小型レゾナント・スキャナー (φ3mmミラー）
| 写真 | 型式 | 光学振れ角 | 共振周波数 | 価格（税抜き） | 納期 | 備考 |
 |
LSM-300CL | 40度Max. | 300Hz±10% | お問合せ下さい | ２～３週間 | |
| LSM-500CL | 40度Max. | 500Hz±10% | お問合せ下さい | ２～３週間 | ||
| LSM-900CL | 30度Max. | 900Hz±10% | お問合せ下さい | ３～４週間 |
- 電磁誘導とネジリ振動に基づいた電気機械共振型のレゾナントスキャナーです。
- ベアリング等の磨耗箇所が無いので、半永久的な寿命となります。
- PWM制御とフィードバック制御で高精度と高安定性を実現しております。
- 低消費電力（1W以下）ですので、電池での駆動も可能です。
スキャナー部 共通仕様
| 駆動原理 | 電気機械共振 |
| ミラー寸法 | Φ3.0 t=1.0 (mm)アルミ蒸着 |
| ミラー特性 注)下記 | 反射率：＞90％ (λ=480nm) |
| 平面度：～λ／２ (λ=633nm) | |
| 面粗さ：Ra～0.1µm以下 | |
| 光学振れ角 | 10°～40° (スキャン速度は sin θ） LSM-900CLは最大30° |
| 共振周波数 | ω=300Hz±10％/500Hz±10％/900Hz±10％ |
| 周波数安定度 | 0.1%以下 |
| Q値 | 25±１0％ |
| ジッター | 1%以下 （安定領域において 0.5%以下） |
| ウォブル | 60秒以下 |
| スキャナー寸法 | Φ9.9×12mm |
| 重量 | 5g以下(本体のみ） |
| 信号ケーブル長 | 標準Φ4.5×2m （制御基板側コネクタ着脱） |
注 1）IR、UV等のレーザー波長に合わせた特注ミラーへの変更可能
注 2）オプションのレーザーが不要な場合、特注対応にてケーブル径を細く、長くすることも可能
スキャナー用語
- ジッター：走査速度のバラツキ （時間の平均に対する偏差 単位：％）
- ウォブル：走査方向と直角方向の位置バラツキ（ミラーの傾き偏差 単位 秒）
- 共振周波数：ミラーを走査している周波数（ミラーの駆動周波数 単位 Hz)
- Q値 ：共振周波数の尖鋭度 （数値が大きい方が尖鋭 単位 なし）
制御部 共通仕様
| 制御方法 | PWM制御、フィードバック制御 PWM （:Pulse width modulation） |
| PWM分解能 | 振れ角×1/2,000 （制御基板からの最小角度制御） |
| 角度安定度 | 0.5%以下（恒温時） |
| 振れ角設定 | 10°～最大40°内の任意の角度への粗微調は可変抵抗による。 (ティーチング機能付） （ LSM-900CLは最大30°迄 ） |
| 外部出力 | TTLレベル |
| スキャントリガ信号 | Pin2 (左端→右端時 'H' ） |
| 暖機モード信号 | Pin7 (暖機モード時 'L' ) |
| 供給電圧 | 6V～12VDC ( DC6V出力のAC/DCアダプタを標準付属 ） |
| 消費電力 | １W以下(レーザー除く） |
| 基板寸法 | 105×55×15mm (コネクタ高を含む） |
| オプション | |
| 搭載レーザー | 635nm 約1ｍW (スキャナーとレーザー一体化の上部写真の基板を含む） 特にご指定なき場合にはこのレーザーモジュールを搭載します。 |
カタログ ダウンロード
小型レゾナント・スキャナーモジュール (φ6mmミラー）
| 写真 | 型式 | 光学振れ角 | 共振周波数 | 価格（税抜き） | 納期 | 備考 |
 |
LSM-100L | 40度Max. | 100Hz±10% | お問合せ下さい | ２～３週間 | （基板一体型） |
| LSM-200L | 40度Max. | 200Hz±10% | お問合せ下さい | ２～３週間 | ||
| LSM-300L | 30度Max. | 300Hz±10% | お問合せ下さい | ３～４週間 | ||
| LSM-400L | 25度Max. | 400Hz±10% | お問合せ下さい | ３～４週間 |
- 電磁誘導とネジリ振動に基づいた電気機械共振型のレゾナントスキャナーです。
- ベアリング等の磨耗箇所が無いので、半永久的な寿命となります。
- PWM制御とフィードバック制御で高精度と高安定性を実現しております。
- 低消費電力（1W以下）ですので、電池での駆動も可能です。
スキャナー部 共通仕様
| 駆動原理 | 電気機械共振 |
| ミラー寸法 | Φ6 t=1.0 (mm)アルミ蒸着 （両面使用可） |
| ミラー特性 注）下記 |
反射率：＞90％(λ=480nm) |
| 平面度：～λ／２(λ=633nm) | |
| 面粗さ：Ra～0.1µm以下 | |
| 光学振れ角 | 10°～40°(スキャン速度はsin θタイプ） （LSM-300Lは最大30°、LSM-400Lは最大25°） |
| 共振周波数 | ω= 100Hz±10%/ 200Hz±10%/ 300Hz±10%/400Hz±10% |
| 周波数安定度 | 0.1%以下 |
| Q値 | 30±10％ |
| ジッター | 1%以下 （安定領域において 0.5%以下） |
| ウォブル | 60秒以下 |
| スキャナー寸法 | 14×14×12mm ( 底面中心部にM2取付ネジ穴有り ） |
| 重量 | 5ｇ以下 （本体のみ） |
| 信号ケーブル長 | 2ｍ（制御基板側コネクタ着脱） |
注）IR、UV等のレーザー波長に合わせた特注ミラーへの変更可能
スキャナー用語
- ジッター：走査速度のバラツキ （時間の平均に対する偏差 単位 ％）
- ウォブル：走査方向と直角方向の位置バラツキ（ミラーの傾き偏差 単位 秒）
- 共振周波数：ミラーを走査している周波数（ミラーの駆動周波数 単位 Hz)
- Q値 ：共振周波数の尖鋭度（数値が大きい方が尖鋭 単位 なし）
スキャナー部の背面カバーを外す事で両面ミラーのスキャナーとして使用可能
(例：背面ミラーを使い、ミラーの角度情報を得る等）
制御部 共通仕様
| 制御方法 | PWM制御、フィードバック制御 |
| PWM分解能 | 振れ角×1/5,000 |
| 角度安定度 | 0.5%以下 （恒温時） |
| 振れ角設定 | 10°～40°内の任意の角度への粗微調は可変抵抗による。 (ティーチング機能付） （LSM-300Lは最大30°、LSM-400Lは最大25°） |
| 外部出力 | TTLレベル |
| スキャントリガ信号 | Pin2 (左端→右端時 'H' ） |
| 暖機モード信号 | Pin7 (暖機モード時 'L' ) |
| 供給電圧 | 6V～12VDC ( DC6V出力のAC/DCアダプタを標準付属 ） |
| 消費電力 | 約1W以下 (レーザー除く） |
| 基板寸法 | 105×55×15mm （コネクタ高さ含む） |
| オプション | |
| 搭載レーザー | 635nm 約1ｍW (スキャナーとレーザー一体化の上部写真の基板を含む） 特にご指定なき場合にはこのレーザーモジュールを搭載します。 |
カタログ ダウンロード
中型レゾナント・スキャナーモジュール（φ10mm）
| タイプ | 型式 | 価格（税抜き） | 納期 |
| Φ10mmレゾナントスキャナー | LSM150ML | お問合せ下さい | ３～４週間 |
- 大口径レーザー用の1次元スキャン
- ラインレーザーを使用しての面スキャン
ヘッド部 仕様
| 機械的性質 | ヘッド寸法：26 × 26 × 10（ｍｍ） ヘッドと基板間ケーブル：約2 m |
| 電気的性質 | 重さ：約20 g |
| 振れ角：5° ～ 40° | |
| 駆動周波数：ω＝150 Hz ± 10 % | |
| Ｑ値＝25 ± 10 % | |
| 駆動電圧：DC 6 V | |
| 駆動電流：100 mA | |
| 抵抗値：50 Ω | |
| ＴＴＬ駆動 | |
| ミラー形状：10φ、ｔ＝1.0（IR対応可） | |
| 光学的性質 | アルミ蒸着ミラー平面度：λ／２以下 |
| アルミ蒸着ミラー面粗さ：0.01 μｍ以下 |
制御部 仕様
| 駆動周波数 | 150 Hz ± 10％ |
| 振れ角 | 5° ～ 40°(ボリュームにて設定） |
| 分解能 | 振れ角 × 1／6600 |
| 振れ角精度 | 1 %以下（温度安定時） |
| ジッター | 0.5 %以下(温度安定時） |
| ウォブル | 60 秒以下 |
| 入力電源 | DC ６V（ACアダプター付属） |
| 消費電力 | １ Wi 以下 |
| 基板寸法 | 105 × 55 × 16（mm）、各角より（3，3）の位置に固定用穴 Φ2.2 有り |
| エッジ信号 | pin２：後方から見て右方向スキャン開始時に'H'立上り |
| エッジ精度 | ± 50 usec 以内（±0.5 ％以下） |
| 方向信号 | pin2：’Ｈ’時に後方から見て右スキャン、’Ｌ’で左スキャン |
| コネクタpin | pin1＝GND、pin２＝エッジ信号、pin4＝ドライブ信号、pin9＝＋5Ｖ |
| オプション | |
| 搭載レーザー | ご希望のレーザーをご指示願います。（IR対応可能） 特にご指定無き場合は 635nm、約１ｍWを搭載致します。 |
カタログ ダウンロード
２次元ステップスキャン ＆ スローラスターユニット
- 電磁誘導方式なので、磨耗部分が無く半永久寿命
- 小型形状なのでシステム設計が容易
- 一台でステップスキャンとスローラスターが切替動作可能
| 写真 | タイプ | 型式 | 価格（税抜き） | 納期 |
 |
ステップ＆スローラスター | LSR/S-200L | お問合せ下さい | ３週間 |
■ ステップスキャンのイメージ図
|
■ スローラスタースキャンのイメージ図
|
 |
 |
仕様
| 制御方法 | PWM制御（電磁誘導） |
| ミラーサイズ | X軸：２０×１０ｍｍ t =1.0mm、Y軸：Φ６ｍｍ t=1.0mm [アルミ蒸着、反射率＞９０％（λ＝480nm)、平面度～λ/2(λ=633nm)] |
| 最大振角 | X軸：６０°（±３０°）、Y軸：４０°（±２０°）、[ 最小振角はXY軸共：２°] （振角の設定は制御ユニット前面のVRにて可変） |
| 振角精度 （X、Y軸共） |
振り角±３０°にて（X軸のみ）、初期移動誤差５％以下（繰返し精度：σ=0.03°） 振り角±２０°にて、初期移動誤差２％以下（繰返し精度：σ=0.02°） 振り角±１０°にて、初期移動誤差0.1％以下（繰返し精度：σ=0.005°） |
| ステップスキャン 位置設定 移動速度 |
XY位置座標：１２８×１２８、単位は最大振角の1/１２８ (設定はRS232Cによる) X軸60度／Sec.以下、Y軸 40度／Sec.以下 |
| ラスタースキャン 速度設定（X軸） ラスター本数（Y軸） |
１スキャン 0.25sec～60secまで、単位は0.25sec （設定はRS232Cによる） ３～１２８本（カスタマイズ本数の４ステップをRS232Cによって選択） |
| コード長さ | 約２ｍ（Φ6.5mm、10芯）、延長可能 |
| 動作温度範囲 | １５℃～３５℃（高温になると振角が小さくなります。） |
| ヘッド部寸法 | １００×７０×８０ｍｍ（プラスチックケースの寸法） |
| 制御部寸法 | １４０×１９０×５０ｍｍ |
| 入力電源 | DC ６V (ACアダプター付属）、消費電力：２W以下 |
| 注）初期移動誤差：停止後の５分間に移動する誤差（駆動コイルの発熱による） |
注）ガイド用搭載レーザーはご指定下さい。ご指定無い場合は635nm、１ｍWが搭載されます。
カタログ ダウンロード
小型サークル・スキャナーモジュール LSMC-200L
- 任意のサークルを描写できる小型のスキャナーです。
- 電磁誘導とネジリ振動に基づいた電気機械共振型のレゾナントスキャナーです。
- ベアリング等の磨耗箇所が無いので、半永久的な寿命となります。
- PWM制御で高精度と高安定性を実現しております。
- 低消費電力（０．２５W）ですので、電池での駆動も可能です。
スキャナー部 共通仕様
| 駆動原理 | 電気機械共振 （２個の１次元スキャナー使用） |
| ミラー寸法（X、Y軸共） | Φ6 t=1.0 (mm) アルミ蒸着 （注１） |
| ミラー特性 | 反射率：＞90%(λ=480nm) |
| 平面度：～λ／２(λ=633nm) | |
| 面粗さ：Ra～0.1µm以下 | |
| 光学振れ角 | １7°MAX （X軸、Y軸共） |
| 共振周波数 | ω=200Hz±10% (X軸、Y軸共） |
| 周波数安定度 | 0.01% |
| Q値 | 約20 （X軸、Y軸共） |
| ジッター | 0.1%以下（安定領域） |
| ウォブル | X,Y軸それぞれ60秒以下 |
| スキャナー部寸法 | 40×55×25mm |
| 重量 | 約40ｇ（赤色レーザー含む） |
| 信号ケーブル長 | 標準2ｍ（10ｍまで可） |
注１）ミラーサイズをΦ10mmに変更可能 Φ10mmの場合、共振周波数は140Hz±10%になります。
制御部 仕様
| 制御方法 | ２次元PWM制御（オープンループ） 同一周波数による２個の１次元ユニット制御 |
| PWM分解能 | 最大振れ角×1/250 |
| 動作 | 円、楕円、縦or横直線 |
| 角度安定度 | 0.5%以下（恒温時） |
| 振れ角設定 | 可変抵抗による調整可 |
| 外部設定 | モード切替、サイズ設定 （注２） |
| 供給電圧 | ５VDC |
| 消費電力 | 約0.25W(レーザー除く） |
| 基板寸法 | 40×140×2mm |
| 搭載レーザー (オプション） |
635nm又は532nm 約1ｍW |
注２）サークルサイズの最大径までの拡大縮小を自動的（スキャン時間変更の可）に行うこともできます。
スキャナー用語
- ジッター：走査速度のバラツキ （時間の平均に対する偏差 単位 ％）
- ウォブル：走査方向と直角方向の位置バラツキ（ミラーの傾き偏差 単位 秒）
- 共振周波数：ミラーを走査している周波数（ミラーの駆動周波数 単位 Hz)
- Q値 ：共振周波数の尖鋭度（数値が大きい方が尖鋭 単位 なし）
カタログ ダウンロード
関連商品
