2次元ステップスキャン & スローラスターユニット

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  • スキャン角度を任意に設定可能な、電磁誘導による軸線のねじり振動を基本とする電気機械共振型のレゾナント・スキャナーです。
  • ベアリング等の磨耗箇所が無いので、半永久的な寿命となります。
  • ミラー面積とスキャナー外形面積との比は、一般的なシリコン系MEMSの1/4と省スペースです。
  • PWM制御とフィードバック制御で高精度と高安定性を実現しております。
  • 駆動回路は約0.25Wの低消費電力ですので、電池での駆動も可能です。
  • 任意の位置でスキャンを停止させる1次元、2次元のステップ・スキャナーもあります。
  • デモ機がありますので、ご連絡下さい。

タイプ 型式 価格(税抜き) 納期
ステップ&スローラスター LSR/S-200L お問合せ下さい 3週間

2次元ステップスキャン&スローラスターユニット

  • 電磁誘導方式なので、磨耗部分が無く半永久寿命
  • 小型形状なのでシステム設計が容易
  • 一台でステップスキャンとスローラスターが切替動作可能

■ ステップスキャンのイメージ図

  • 離れた位置や微細な位置指示に有効

■ スローラスタースキャンのイメージ図

  • 面でのレーザー加工・計測等に有効
ステップスキャンのイメージ図 スローラスタースキャンのイメージ図
制御方法 PWM制御(電磁誘導)
ミラーサイズ  X軸:20×10mm t =1.0mm、Y軸:Φ6mm t=1.0mm
[アルミ蒸着、反射率>90%(λ=480nm)、平面度~λ/2(λ=633nm)]
最大振角  X軸:60°(±30°)、Y軸:40°(±20°)、[ 最小振角はXY軸共:2°]
(振角の設定は制御ユニット前面のVRにて可変)
振角精度
(X、Y軸共) 
振り角±30°にて(X軸のみ)、初期移動誤差5%以下(繰返し精度:σ=0.03°)
振り角±20°にて、初期移動誤差2%以下(繰返し精度:σ=0.02°)
振り角±10°にて、初期移動誤差0.1%以下(繰返し精度:σ=0.005°)
ステップスキャン
 位置設定
 移動速度

XY位置座標:128×128、単位は最大振角の1/128 (設定はRS232Cによる)
X軸60度/Sec.以下、Y軸 40度/Sec.以下
ラスタースキャン
 速度設定(X軸)
 ラスター本数(Y軸)

1スキャン 0.25sec~60secまで、単位は0.25sec (設定はRS232Cによる)
3~128本(カスタマイズ本数の4ステップをRS232Cによって選択)
コード長さ 約2m(Φ6.5mm、10芯)、延長可能
動作温度範囲 +5℃~+45℃(+35℃以上の高温領域では振角が少し小さくなります。)
ヘッド部寸法 100×70×80mm 
制御部寸法 140×190×50mm(プラスチックケースの寸法)
入力電源 DC 6V (ACアダプター付属)、消費電力:2W以下

注)初期移動誤差:停止後の5分間に移動する誤差(駆動コイルの発熱による)
注)ガイド用搭載レーザーはご指定下さい。ご指定無い場合は635nm、1mWが搭載されます。

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