コーティング技術について
コーティングの種類
電子ビーム蒸着
Electron beam Deposition
Most Common
Cheap
Least Dense Energy Low Performance
Electron beam Deposition
Most Common
Cheap Least Dense Energy Low Performance
イオンアシスト蒸着
Ion-Assisted Deposition
Common Medium Cost
More Dense Energy Medium Performance
Ion-Assisted Deposition
Common Medium Cost More Dense Energy Medium Performance
イオンビームスパッタ
Ion Beam Sputtering (IBS)
Rare
Medium-High Cost Most Dense Energy Highest Performance
Ion Beam Sputtering (IBS)
RareMedium-High Cost Most Dense Energy Highest Performance
コーティング面の品質／面の粗さ
イオンアシスト蒸着
イオンビームスパッタ（IBS)
コーティング性能比較
イオンビームスパッタリング（IBS）の利点
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コーティング環境試験
| テスト項目 ： サンプル数 11 | 結果 |
| 温度サイクル ： -20℃to +71℃ | 温度サイクル後目視変化無し |
| 湿度 ： 48℃ で 95%RH 以上 | 湿度試験後目視変化無し |
| 温度・湿度試験後 タップ試験 ： |
薄片に裂けなし＆目視変化無し |
| 温度・湿度試験後 アルコール摩擦試験 ： クリーンルーム用綿棒にて５分間 |
8サンプルは目視変化なし、 2F、3F、10Fに局所的なコーティング除去エリアあり |
| 温度・湿度試験後 ゲル摩擦試験 ： クリーンルーム用綿棒にて５分間 |
3個の悪いサンプル ビフォア／アフターの目視変化無し |
| 温度・湿度試験後 スペクトロ機能試験 ： 532 nm／1064 nm |
532nm 1064nm Pre Env 92.00 92.20 Average 91.35 92.18 Std 1.15 0.36 |
データシート ダウンロード
- コーティング技術について
382KB
